Список продуктов

EasyFashion Industry

Адрес.: Rm. 1-701, New Empire Building, No. 399, Tongzipo Rd., Yuelu District, Changsha City, Hunan Province, China

Тел.: +86-731-82247692
+86-731-82247592

Факс: +86-731-84441671

Контактное лицо (ответственное лицо):
Maggie Huang (Huang Manli)

Моб. тел.:+86-13467537752

Главная » Продукция » Оборудование для производства углеродных материалов » Печь химического осаждения из газовой фазы

Печь химического осаждения из газовой фазы

Печь химического осаждения из газовой фазы – это специализированная промышленная печь, используемая для производства высококачественного карбида титана, карборунда, оксида кремния и нитрида кремния, применяемых для подложек. Эта лабораторная электрическая печь имеет высокую температуру осаждения – от 100 до 1800°C.

Наша печь химического осаждения из газовой фазы – это идеальное оборудование для производства диэлектриков, полупроводников и металлических пленок – оксида кремния, нитрида кремния, аморфного гидрогенизированного кремния, гетероморфного кремния, карборунда, вольфрама, силицида титана, арсенида галлия, стибида галлия и так далее. Эта высокотемпературная электрическая печь является оптимальным выбором для машиностроительной отрасли, металлургии, оптической и полупроводниковой отраслей.

Состав оборудования
1. Печь химического осаждения из газовой фазы состоит из вакуумной топочной камеры из нержавеющей стали, системы турбомолекулярных насосов, источника питания, носителя реакции, системы температурного контроля и вспомогательного устройства водяного охлаждения, а также независимой системы управления выкачиванием и давлением реакции.

2. Оборудование компактно и имеет оптимизированную конструкцию, что обеспечивает простоту эксплуатации и быструю вакуумную откачку.

3. Доступно ручное управление и автоматическое управление – промышленный персональный компьютер.

4. Вакуумная откачка и нанесение покрытия могут быть завершены в одном производственном цикле.

Технические данные
Параметр Единица измерения Модель
EF-4-18 EF-8-18 EF-12-18 EF-16-18 EF-20-18
Номинальная мощность кВт 21 30 45 60 75
Номинальное напряжение В 380 380 380 380 380
Макс. температура °C 1800 1800 1800 1800 1800
Рабочая температура °C ≤ 1700 ≤ 1700 ≤ 1700 ≤ 1700 ≤ 1700
Жесткость вакуума Па 6.67 6.67 6.67 6.67 6.67
Размер платформы подложки Дюйм Ø 4 Ø 8 Ø 12 Ø 16 Ø 20
Частота вращенияплатформы подложки Об/мин 0-20 0-20 0-20 0-20 0-20
Теплоизоляционный материал Графит Графит Графит Графит Графит
Нагревательный элемент Графит Графит Графит Графит Графит
Скорость повышения температуры °C/мин ≤ 25 ≤ 25 ≤ 25 ≤ 25 ≤ 25
Точность задания температуры °C ±1 ±1 ±1 ±1 ±1
Базовая комплектация 1. Трехканальный расходомер: азот, водород, метан, аргон
2. Система аварийной сигнализации при неисправности газохода (водород и метан), при избыточном нагреве, при нехватке воды
Комплектация на выбор 1. Оборудование для обработки отработанных газов
2. Газовый баллон и клапан понижения давления
3. Система охлаждения
Применение
Процесс производства, Отгрузка оборудования, Визиты заказчиков
Сопутствующее оборудование

Схожие названия
Установка для производства углеродных материалов | Высокотемпературная электрическая печь | Лабораторная электрическая печь

Обратная связь